技术能力

Technology Capability
高纯气体系统氦检分析测试
高纯气体系统水分、氧分、颗粒分析测试
洁净度之微尘粒子测试
压差平衡及测试
漏风量测试
HEPA/ULPA泄漏测试
FFU 平均风速及风量测试
风口风量测试及平衡
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